1.半（bàn）導體廢氣簡述

隨著信息化（huà）時代的到來，半導體行業也（yě）在迅速發展，半導體廠給社會帶來的經濟效益及就（jiù）業率有目共（gòng）睹的，但（dàn）隨之而來的（de）還有對大氣（qì）的汙染。在半導體生產中（zhōng）使用的清洗劑、顯（xiǎn）影劑（jì）、光刻膠、蝕刻液等溶劑（jì）中含有大量有機物成分，在製（zhì）造工藝（yì）過（guò）程中，這些有機溶劑大部分通過揮（huī）發成為廢氣（qì）排（pái）放。其廢氣的主要成分是VOCs，同時廢（fèi）氣中（zhōng）還混合了HCl、氨、HF等汙染物，此類汙染物排入（rù）大氣會造（zào）成環境汙染，同時也會對工廠周圍居民身體健康造成影響。因此，必須對半導體廢氣進行淨化處理後達到排放要求。

2.半（bàn）導體廢氣（qì）處理方法

半導體廢氣有酸性廢氣、VOCs有機廢氣。半導體酸廢氣處理通常采用堿液體噴淋法，又稱化（huà）學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可（kě）以更好地捕捉沉降（jiàng），溶解去除汙染物，而達到（dào）大氣排放標準，故噴淋法是半導（dǎo）體行業酸（suān）堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。VOCs有機廢氣處理常見主要有活性炭吸附法、燃（rán）燒法、UV光解淨化法等，下（xià）麵天浩洋環保小編詳細介紹半導體廢氣處理方法（fǎ）。

（1）活性炭吸附法

活性炭（tàn）吸附法主要（yào）原理就是利（lì）用多孔固體吸附劑（活性碳、矽（guī）膠、分子篩等（děng））來處理有機廢氣，這樣就能夠通（tōng）過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵（miàn），從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於（yú）大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物（wù）、常（cháng）溫（wēn）的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨（jìng）化率高（活性炭吸附可達到95%以（yǐ）上），實用遍及（jí），操（cāo）縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽（bǎo）和以後的活（huó）性炭（tàn）也是需要找（zhǎo）專業人員進行危廢處理，運行費用高（gāo）。

（2）燃燒法

燃燒法隻（zhī）在揮發性有機物在（zài）高溫及空氣充足（zú）的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢（fèi）氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排（pái）放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為（wéi）燃料進行燃燒，燃燒溫度（dù）一般控製在1100℃，處理效率高（gāo），可以（yǐ）達到95％一99％。

熱力燃燒法適合（hé）於（yú）處理濃（nóng）度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣（qì）中VOCs濃度較低，需（xū）要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的（de）溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理（lǐ）VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直（zhí）接外排會導致二次（cì）汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處（chù）理（lǐ）有機廢氣，其淨化率是比較高（gāo）的，但（dàn）是其投資運（yùn）營成本極高。因廢氣（qì）排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝（zhuāng）置需要多套且需要很大（dà）的占（zhàn）地麵積。熱（rè）力燃燒比較適合24小時連續不（bú）斷運行且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工況（kuàng），不適合間（jiān）斷性的生（shēng）產產線工（gōng）況。催化燃燒的投資和運營費用（yòng）相對熱力（lì）燃燒較低，但淨化效率也相對較低（dī）一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造（zào）成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣（qì）進氣條件的（de）控製非常嚴格（gé），否則會造（zào）成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法（fǎ）

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中（zhōng）的氧（yǎng）分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧（yǎng）所攜帶正負電子不平（píng）衡所以需（xū）與氧分子結合，進（jìn）而產生臭氧，臭氧具有很強的（de）氧化性，通過臭（chòu）氧對有機廢氣（qì）、惡臭氣體（tǐ）進（jìn）行協同光解氧化作用，使有機廢（fèi）氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解法具有（yǒu）高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中（zhōng）低濃度，大氣量，不同有機廢氣以（yǐ）及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能（néng）穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采（cǎi）用光（guāng）解原理，模（mó）塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適（shì）用於化（huà）工、製藥等防爆要求高的行業。

以上（shàng）關於半（bàn）導體廢氣處理方法介紹，希望（wàng）可以幫到您，其實對於半導（dǎo）體廢氣（qì）處理，一般是需要根據廢氣（qì）的（de）濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計。如果您有半導體廢氣需要淨化處理，可以隨時（shí）撥（bō）打400-808-2272 電話（huà），谘詢天浩洋環保,為您提（tí）供半導體廢（fèi）氣處理方案及設（shè）備（bèi）。