首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩（wěn）定高（gāo）頻放電，瞬間產生1.5萬伏特（tè）至2萬伏特高壓，擊穿廢（fèi）氣。此（cǐ）階段中（zhōng），長鏈、多鏈廢（fèi）氣分（fèn）子由於鍵能較弱，約（yuē）束力較小。很容易被擊（jī）穿化學鍵破裂，從而變（biàn）成小分子化合物（wù），此為第（dì）一階段（duàn）淨化。

其（qí）次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被（bèi）高壓擊穿斷裂，生（shēng）成強氧化基團羥基、臭氧分（fèn）子等。這些強氧化基團與廢氣分子（zǐ）充分接觸氧化，加快（kuài）反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子（zǐ）鍵斷裂重組，使難處理的汙染（rǎn）物（wù）降解為較易（yì）處（chù）理的低碳汙染物。

從等（děng）離子體反應過程可以看出（chū），電子先從電（diàn）場獲（huò）得能量，通過激發或電離將（jiāng）能量轉移到汙染物分子中去，那些獲（huò）得能量的汙染物分子被激發，同時有部分分（fèn）子被電離，從而成為活性基團。然後這些（xiē）活性基團與氧氣、活性基團與（yǔ）活性基團之（zhī）間相互碰（pèng）撞後生成穩定產物和（hé）熱（rè）。

另外，高能電子（zǐ）也能被鹵素（sù）和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負（fù）離子具有很好的（de）化學活性，在化學反應中起著重要的作用。