首先廢氣經均流板過（guò）濾棉進入設備時，由設（shè）備高壓穩（wěn）定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特（tè）至2萬伏特（tè）高壓，擊（jī）穿廢（fèi）氣。此階段中，長鏈、多鏈廢（fèi）氣分子由於（yú）鍵能較（jiào）弱，約束力較小。很容易（yì）被擊穿化學鍵破裂（liè），從而變成小分子化合物，此（cǐ）為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧（yǎng）分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與（yǔ）廢氣分子（zǐ）充分（fèn）接（jiē）觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨（jìng），能（néng）量利用（yòng）率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激（jī）發汙（wū）染物能量，促使（shǐ）長鏈、多鏈汙染物分子的（de）分子鍵（jiàn）斷裂（liè）重組，使難處理的汙染物降解為（wéi）較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以（yǐ）看出（chū），電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與（yǔ）活性基團之間相互碰（pèng）撞後生成穩定產物和熱。

另（lìng）外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離（lí）子具有很好的化（huà）學（xué）活性，在化學反（fǎn）應中起著重要的作用。