首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬（wàn）伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階（jiē）段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階（jiē）段淨化。

其次，隨廢（fèi）氣進（jìn）入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷（duàn）裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些（xiē）強氧化（huà）基團與廢（fèi）氣（qì）分子充分接（jiē）觸氧化，加（jiā）快反應進程。整個（gè）反應幹淨，能量利（lì）用率高，淨（jìng）化效率非常高。

等離子功能段可以激（jī）發汙染物能量，促（cù）使長鏈、多（duō）鏈汙染物（wù）分子的分子（zǐ）鍵斷裂重組，使難處理的汙染物降解為（wéi）較（jiào）易處理的低碳汙染物。

從等離子體（tǐ）反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將（jiāng）能量轉移到汙染物分子中去，那些獲（huò）得能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而（ér）成為活性基團。然後這（zhè）些活（huó）性基團與氧氣、活性基（jī）團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。

另（lìng）外，高能電子也能被（bèi）鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好（hǎo）的化學活性（xìng），在化（huà）學反應中起著重要的作用。