首先廢（fèi）氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定（dìng）高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓（yā），擊穿（chuān）廢氣。此階段（duàn）中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小（xiǎo）。很容易被擊穿化學鍵破裂，從（cóng）而變成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次，隨（suí）廢氣進入設備的水分子、氧分子（zǐ）被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分（fèn）子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧（yǎng）化，加（jiā）快反應進程。整個反應幹淨，能量（liàng）利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子（zǐ）鍵斷裂重組，使難（nán）處理（lǐ）的汙染物降（jiàng）解為（wéi）較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子先（xiān）從電（diàn）場獲得能量，通過激發或（huò）電離將能量轉（zhuǎn）移到汙染物分子中去（qù），那些獲得（dé）能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定（dìng）產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力（lì）較強的物質俘獲（huò），成為負離子。這類負離子具（jù）有很好（hǎo）的化（huà）學活性（xìng），在化學反應中起著重要（yào）的作用（yòng）。