首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至（zhì）2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子（zǐ）由於（yú）鍵（jiàn）能較弱，約束（shù）力較（jiào）小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高（gāo）壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這（zhè）些強氧（yǎng）化基團與廢氣分子（zǐ）充分接觸氧化，加快反應進程（chéng）。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非（fēi）常高。

等離子功（gōng）能段可（kě）以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分（fèn）子（zǐ）的分子鍵（jiàn）斷裂重組，使難處理的汙染（rǎn）物降解為較易處理的低碳汙染（rǎn）物。

從等離子體反應過程可以看出，電（diàn）子（zǐ）先（xiān）從電場獲得能量（liàng），通過（guò）激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得能量的汙染物分子被激發，同時（shí）有部分分子被（bèi）電離，從而成（chéng）為活性基團。然後這些（xiē）活（huó）性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間（jiān）相互（hù）碰撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被（bèi）鹵素（sù）和氧氣等電子親和力較強的物（wù）質俘獲（huò），成為負離子。這類負離子具有很好（hǎo）的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。