首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時（shí），由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢（fèi）氣分子由於鍵（jiàn）能較弱，約束力較（jiào）小。很容易被擊穿化學鍵破（pò）裂（liè），從而變成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次（cì），隨廢氣進入設備的（de）水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥（qiǎng）基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分（fèn）子充分接觸氧化，加快反應進（jìn）程。整（zhěng）個反應幹淨，能量利用率高，淨化效（xiào）率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子鍵斷裂重（chóng）組，使難處（chù）理的汙染物降解為較（jiào）易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程（chéng）可以看出（chū），電子先從電場獲得（dé）能量，通過激發或電離將能量轉（zhuǎn）移到汙（wū）染物分子中（zhōng）去，那些獲得能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電（diàn）子也能被鹵素和（hé）氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很（hěn）好的化（huà）學活（huó）性，在化學反應中起（qǐ）著重要的（de）作用。