1.濕電子化學品（pǐn）廢氣簡述

濕電子化學品（pǐn），又稱超淨高純化學品，是指主體成分純度大於99.99%，雜質離子（zǐ）和微粒數符合嚴（yán）格要求的（de）化學試劑的總稱（chēng），主要包括刻蝕液、剝離液、清洗液、顯影液。

近年來，濕電子化學品成為了超大規模（mó）集成電路（IC）製造業深入（rù）、快速發（fā）展中越來越不可缺少的（de）、支撐其新技術發展的重（chóng）要（yào）輔助材料。因此，它也成為在電子化學品中需求量大幅度增加、產量與技（jì）術高速發展的一（yī）類產品。濕電子化學品目前廣泛應用在平板顯示、LED、太陽能電池、光磁記錄存儲體產品等領域（yù）中，並且在這些新型應用領域中發展前景廣闊（kuò）。但（dàn）是濕（shī）電子化學品在生產過程產生氯化氫（qīng）、氮氧化物、醋酸、VOCs等（děng）廢氣汙（wū）染物，這些廢氣汙（wū）染物，如果未經過收集淨化處理，直接排放（fàng）進入大氣空氣中，不僅（jǐn）造成周邊大氣環境空氣汙（wū）染，還會對周邊居民身體健康有傷害，因此，對濕電子化學品廢氣進行淨（jìng）化處理後，達到（dào）潔淨空氣（qì）排放要求。

2.濕電（diàn）子化學品廢氣處理方法

濕電（diàn）子化學品在生產過程產生廢氣主要為氯化（huà）氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣汙染（rǎn）物，對於氯化氫（qīng）、氮（dàn）氧化物、醋酸等酸性（xìng）廢氣處（chù）理采用間堿洗法即可處（chù）理，然而對於VOCs有機廢氣處理方法有（yǒu）很多種（zhǒng），常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解（jiě）淨化法，下麵天浩洋環（huán）保小編詳細介紹濕電子化學品廢氣處理方法。

2.1酸性廢氣處理方（fāng）法

集氣罩收集酸性廢氣通過管道輸送進入堿洗塔（tǎ），經廢氣洗滌（dí）塔酸堿中和處理後，達到國家排放標準（zhǔn）後排放。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附（fù）法

活性炭吸附法（fǎ）主要原理就是利用多孔固（gù）體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機（jī）廢氣，這（zhè）樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而（ér）達到淨化有機廢氣的目的。吸（xī）附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨（jìng）化處理。

活性炭（tàn）淨化率高（活性（xìng）炭吸附可達到90%以上（shàng）），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人員（yuán）進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃（rán）燒法隻在揮發性有機物在高（gāo）溫及空（kōng）氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機（jī）廢氣，可以分（fèn）為直接燃燒、熱力（lì）燃燒和（hé）催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃（nóng）度廢氣一般采用直接燃燒法，該（gāi）方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒（shāo），燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於（yú）處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢（fèi）氣中VOCs濃度較低，需（xū）要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃（rán）燒低，大約（yuē）為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理（lǐ）效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元（yuán）素，燃燒後產生的（de）廢氣直接外排會導致（zhì）二次汙染（rǎn）。

通過（guò）熱力燃燒或者催化燃燒法（fǎ）處理有（yǒu）機廢氣，其淨化（huà）率（lǜ）是比較高的，但是（shì）其投資（zī）運營成本極高。因廢氣排（pái）放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很（hěn）大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營（yíng）費用相對熱力燃燒較（jiào）低，但（dàn）淨化效率也相對較低一些（xiē）；但貴金屬催化劑容易（yì）因為廢氣中的雜質（zhì）（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否（fǒu）則會造成催（cuī）化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化（huà）法（fǎ）利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產（chǎn）生遊離氧（即活性氧），因（yīn）遊離（lí）氧所攜帶（dài）正負電（diàn）子（zǐ）不平衡所以需與氧分子（zǐ）結合，進而產生（shēng）臭（chòu）氧，臭氧具有（yǒu）很（hěn）強的（de）氧化性（xìng），通過臭氧對有機廢氣、惡臭（chòu）氣體進行協同光（guāng）解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分（fèn）子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體（tǐ）物質的淨化處理；產品性（xìng）能穩定，運行穩定（dìng）可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢（jiǎn）查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆（bào）處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要（yào）求高的行（háng）業。

以上關於濕電子化學品廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於濕電子化（huà）學品廢氣處理，一般（bān）是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果（guǒ）您有濕電子化學品（pǐn）廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提供濕電子化學品廢氣處理方案及設備。