1.集成電路廢氣簡述

現代社會已進入以微電子技術為核心（xīn）的信息時代（dài），信息（xī）產業已經成為現代（dài）經濟的重要支柱產業。微電子技術和微電子工業的代表是集成電路，而芯片作為集成電路核部件，隨著信息產業的迅速（sù）發展，通（tōng）訊（xùn）設備（bèi）、網絡設（shè）備和個人新算機需求持續增長，大大促進（jìn）了集（jí）成電路芯片市場的（de）擴大。但是集（jí）成電路芯片在製造生產過程產生酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等廢氣（qì）汙染物，這些（xiē）汙染物如果不經過處理而排放會對環境和人身體健康（kāng）產生危害，為了減少大氣汙染、淨化空氣達標排放，因此，需要對集成電路芯片廢氣進行淨化處理後達標排（pái）放。

2.集成電路芯片廢氣處理方法

集成電路芯（xīn）片製造（zào）生（shēng）產過程產生廢氣主要為酸性氣體、堿性氣（qì）體（tǐ）、有機廢氣等廢氣汙染物。酸性（xìng）氣體處理方法采用堿液噴淋法即可處理，堿性氣體處理采用酸液噴（pēn）淋法（fǎ）處理，然而對於有機廢氣處（chù）理方法有很多種（zhǒng），常見（jiàn）主要有活性炭吸（xī）附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵（miàn）天浩洋環保小編詳（xiáng）細介紹集成電路芯片廢氣處理方法。

2.1 酸性、堿性氣體處理方法

酸性廢氣處理方（fāng）法（fǎ）是采用（yòng）“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧（yǎng）化鈉溶液為吸收液（yè）。堿性廢氣處理方（fāng）法是采用“酸（suān）液噴（pēn）淋塔”進行（háng）處理，以10%的硫酸溶液為（wéi）吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌淨化法，在（zài）電子行（háng）業生產中應用相當普遍，具有運行（háng）穩定，處理效果好，投資少（shǎo），處（chù）理費用低（dī）等優點。

2.2有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要（yào）原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣（qì），這樣就（jiù）能夠通過化學鍵力或者是（shì）分子引力充分（fèn）吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達（dá）到淨化有機廢（fèi）氣的目的。吸附法目前主要應（yīng）用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低（dī）濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上（shàng）），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸（xī）附飽和以後需要更換新的（de）活性炭，更換活性炭需要費（fèi）用，替換下來的（de）飽和以後的活性炭也（yě）是需要找專業人員（yuán）進（jìn）行危廢處理，運行費（fèi）用（yòng）高。

（2）燃燒法

燃燒法（fǎ）隻在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃（rán）燒，分解為CO2和H2O。燃燒法（fǎ）適（shì）用於各類有機（jī）廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催（cuī）化燃燒。

排放濃度大（dà）於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒（shāo），燃燒溫度一般（bān）控製在1100℃，處理（lǐ）效（xiào）率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合（hé）於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣（qì），采（cǎi）用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低（dī），需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後（hòu）產生的（de）廢（fèi）氣直接外排會導致二（èr）次汙染。

通過熱（rè）力燃燒或者（zhě）催化（huà）燃燒（shāo）法處理有機廢（fèi）氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢（fèi）氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝（zhuāng）置需要多套且需要很大的占地麵積。熱（rè）力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且（qiě）濃度較高而穩定（dìng）的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃（rán）燒的投資和運營（yíng）費用相對熱（rè）力燃（rán）燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬催化（huà）劑容易因為廢氣中（zhōng）的雜（zá）質（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高（gāo）；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催（cuī）化燃（rán）燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解（jiě）淨化法（fǎ）利用高能UV紫外線（xiàn）光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與（yǔ）氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作（zuò）用（yòng），使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低（dī）分子（zǐ）化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應（yīng）性（xìng）強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物（wù）質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運（yùn）行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查（chá）。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除（chú）了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性（xìng）能高，設備性能安全穩定，特別適用於（yú）化工、製藥等防（fáng）爆要（yào）求高的行業。

以上關於集成電路芯片廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於集成電路（lù）芯（xīn）片廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢（fèi）氣成分、如（rú）何收（shōu）集等方麵進行設計收集處理。如果您有集（jí）成電路芯片廢氣（qì）需要淨化處理，可以隨時（shí）撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋（yáng）環保,為您提供（gòng）集成電路芯片廢氣處理方案及（jí）設備。