1.集成電路廢氣簡述

集成電路（lù）是把特定電路所需的各種電子組件（jiàn）及線路，縮小並製作在極小麵積上的一種電子產品。集成電路芯片製造主要以晶圓為（wéi）基本（běn）材料，其生產工藝（yì）過程包（bāo）括矽片清洗、矽片氧化、擴散、化（huà）學氣相沉積、離子植入、金屬化、光刻、蝕刻以及化學機械研磨等，這些工序反複交（jiāo）叉，包括檢測和（hé）測試在內實際達到300左右的工（gōng）藝步數。但是在這些工藝過程中產生酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等（děng）汙染物，此類（lèi）汙染物如果不經過淨化處理而排放會對環境和人身（shēn）體健康產生危害，為了減少大氣汙染、淨化空（kōng）氣達標排放，因此，需要（yào）對集成（chéng）電路廢氣進（jìn）行淨化處理後達標排放。

2.集成電路廢氣處理方法

集成電路在製造生產過程產生酸性氣體、堿性氣體、有機廢（fèi）氣等汙染物（wù）。對於酸（suān）性氣體處理（lǐ）采用堿液噴淋洗滌法，堿性氣體處理采（cǎi）用酸液噴淋洗滌法，而對於有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵（miàn）天（tiān）浩洋環保小編詳細介紹集成電路廢（fèi）氣處理方法。

2.1 酸性、堿性氣（qì）體處理方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉（nà）溶液為吸收液。堿性廢（fèi）氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸（suān）溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣（qì）洗滌淨化（huà）法，在（zài）酸堿性氣體處理中應用相當普（pǔ）遍，具有運（yùn）行穩（wěn）定，處理效果好，投資少，處（chù）理費用低等優點。

2.2 有（yǒu）機廢氣處（chù）理方法

（1）活性炭（tàn）吸附法

活性炭吸附（fù）法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學（xué）鍵力或（huò）者是分子（zǐ）引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣（qì）的（de）目的。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（dù）（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機（jī）廢（fèi）氣淨化處理。

活性炭（tàn）淨化率高（活性炭吸附可（kě）達到90%以上），實（shí）用遍及，操縱簡單（dān），投資（zī）低。在吸附飽和以後需要更換（huàn）新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換（huàn）下（xià）來的飽和以後的活性（xìng）炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒（shāo）法

燃（rán）燒法隻在揮發性有機（jī）物在高溫及空（kōng）氣充足的條件下進行（háng）完全燃燒，分解為CO2和（hé）H2O。燃燒法適用於各類有機廢（fèi）氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和（hé）催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法（fǎ）將VOCs廢氣（qì）作為燃料進行（háng）燃（rán）燒，燃（rán）燒溫度一般控製在1100℃，處（chù）理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒（shāo）法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃（rán）燒法，廢氣（qì）中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料（liào）或（huò）助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大（dà）約（yuē）為（wéi）540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生（shēng）的廢氣直接外排會導致二次汙（wū）染。

通過熱（rè）力燃燒（shāo）或者催化燃燒法（fǎ）處理有機廢氣，其淨（jìng）化率是比（bǐ）較高的，但是其投（tóu）資運營成本極高。因廢氣排放的點（diǎn）多且分散，很難（nán）實現集中收集。燃燒裝置需要多（duō）套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒（shāo）比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催（cuī）化燃燒的投資和運（yùn）營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效（xiào）率也相對較低一些；但貴金屬催化（huà）劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成（chéng）中（zhōng）毒失效（xiào），而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴（yán）格（gé），否則會造成催化燃燒室堵塞而引（yǐn）起安全事故。

（3）UV光解淨化（huà）法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解（jiě）空氣中的氧分子產生遊（yóu）離（lí）氧（即活（huó）性氧），因（yīn）遊離氧（yǎng）所（suǒ）攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產（chǎn）生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭（chòu）氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣（qì）、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上（shàng）；適應性強，可（kě）適（shì）應中低（dī）濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體（tǐ）物（wù）質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小（xiǎo）時連續工作；運行成本低，設備耗能（néng）低，無需專人管理與維護，隻（zhī）需作定期檢查。UV光解法（fǎ）因采用光解（jiě）原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能（néng）高，設備性能安全穩定。

以上（shàng）關於（yú）集成電路廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於集（jí）成（chéng）電路廢氣處理，一般（bān）是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有集成電路廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋（yáng）環（huán）保（bǎo）,為您提供集成電路廢氣處理方案及設備。