1.電子敏感元件廢氣簡述

電子敏感（gǎn）元件是一種能敏（mǐn）銳地感受某種物理、化學（xué）、生物的信息並將其轉變為電信息的特種電子元件。電子敏感元（yuán）件是傳感（gǎn）器的核心元件。隨著電子計算機和信息技術的迅速發展，電子敏感元件的重要性日益增大，帶動了電子敏感元件製造行業（yè）快速發展，行業規模迅速擴大，技術水平提升，有力推動了我國信息化建設（shè）和經濟社會發展。但是電子敏感（gǎn）元件（jiàn）在製造生產過程會產生廢氣汙染物，其汙染物（wù）主要為氫（qīng）氟酸、氨氣、非甲烷總烴等廢氣汙染物。這些汙（wū）染物如果未經過淨化處理，直接排放進入大氣，不但對（duì）環境造成了嚴重汙染，還嚴重危及（jí）周邊居民的身體健康（kāng）。因此，必須對電子敏感元件廢氣進行淨化處（chù）理後達標排放。

1.1電子敏感元件廢氣來源及成（chéng）分

氫氟酸酸霧：清洗工序使用氫氟酸（suān）溶液，產生酸霧，主要汙染因子為氟化氫。

氨（ān）氣：PECVD（等離（lí）子化（huà）學氣相沉積）工（gōng）序原理是采用進氣（qì）管計量將矽（guī）烷和氨氣（qì）通入 PECVD 管內，通過化學反應產生氮化矽。該工序產生（shēng）含氨氣的廢氣（qì），主要（yào）汙染因子為氨氣。

有機廢氣：絲印燒結工（gōng）序產生少量有機廢氣，主要汙染（rǎn）因子為非甲烷總烴。

2.電子敏感元件廢氣處理方（fāng）法

電子敏感元件製造生產過程產（chǎn）生廢氣（qì）為氟化氫、氨氣、有機廢氣等（děng）廢氣汙染物，對於氟化氫、氨氣等酸堿性廢氣處理采用酸堿中（zhōng）和（hé）法即可處（chù）理，而對於有機廢氣處理（lǐ）方法有很多種，常見主要有活性炭吸附（fù）法、燃（rán）燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋小編詳細介紹電（diàn）子敏感元（yuán）件廢氣處（chù）理方法。

2.1 酸堿性廢（fèi）氣處理方法

酸性廢氣處理方法是采（cǎi）用“堿液噴（pēn）淋塔”進（jìn）行（háng）處理，以10%的氫氧化鈉溶（róng）液為吸收液。堿性廢氣處理方法是（shì）采用“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌（dí）淨（jìng）化法，在電子行業生產中應（yīng）用相當普遍，具（jù）有運行穩定，處（chù）理效果好，投資少，處理費用低等優點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳（tàn）、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑（jì）的表麵，從而達到淨化有機（jī）廢氣的目的。吸附法（fǎ）目前（qián）主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度（dù）有機（jī）廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸（xī）附可達到90%以上），實用遍及，操縱（zòng）簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換（huàn）新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽（bǎo）和以後（hòu）的活性炭也（yě）是需要找專業人員進行（háng）危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有（yǒu）機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全（quán）燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用（yòng）於各類有機廢氣，可以分為（wéi）直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用（yòng）直（zhí）接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作（zuò）為（wéi）燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃（nóng）度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣（qì），采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃（nóng）度較低，需（xū）要（yào）借助其他燃料或助燃（rán）氣體，熱力燃（rán）燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生（shēng）的廢氣直接外排會導致二次汙（wū）染（rǎn）。

通過熱力燃燒（shāo）或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運（yùn）營成本極高。因廢氣（qì）排放的（de）點（diǎn）多且分散，很難實現集（jí）中收集。燃（rán）燒裝置需要多（duō）套（tào）且需要（yào）很（hěn）大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行（háng）且濃度較（jiào）高而穩（wěn）定的廢氣工（gōng）況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費（fèi）用相對（duì）熱力燃燒較低，但（dàn）淨化效率（lǜ）也相對較低一些；但貴金（jīn）屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒（dú）失效，而更換催化劑的費用很高；同時對（duì）廢氣進氣條件的（de）控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧（yǎng）），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所（suǒ）以需與氧分（fèn）子結合，進而產生（shēng）臭氧（yǎng），臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧（yǎng）化作用，使有機廢氣、惡臭氣體（tǐ）物質（zhì）降解（jiě）轉化（huà）成低分子（zǐ）化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達（dá）到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質（zhì）的（de）淨化處理；產品性能穩定，運（yùn）行穩定（dìng）可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需（xū）專人管理與（yǔ）維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患（huàn），防火、防（fáng）爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高的行業。

以（yǐ）上關（guān）於電子敏感元件廢氣處（chù）理方法介紹，希望可（kě）以幫到您，其（qí）實對於電子敏感元件廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃（nóng）度、產生量（liàng）、廢（fèi）氣成分、如何收（shōu）集等方麵進行設計收（shōu）集處理。如果您有電子敏感元（yuán）件廢（fèi）氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提（tí）供（gòng）電子敏感元件廢氣處理方案（àn）及設備。